高純氣體對于不同類別的氣體，純度指標不同，例如對于氮，氫，氬，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對于氧氣，純度為99.99%即可稱高純氧；對于碳氫化合物，純度為99.99%的即可認為是高純氣體。

環(huán)氧乙烷可用作生產(chǎn)增塑劑、潤滑劑等。

氯甲烷是重要的甲基化劑，還可作致冷劑、發(fā)泡劑等。

氯乙烷可用作煙霧劑、冷凍劑、汽油抗震劑、局部麻醉劑。

二甲醚可作噴氣推進劑、制冷劑、麻醉劑；甲硫醇用于合成染料、醫(yī)藥、農(nóng)藥。

乙炔可直接用于金屬切割焊接、原子吸收；乙烯基乙炔主要作為氯丁橡膠原料等。

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