高純氬用于照明技術，填充日光燈、光電管、白熾燈、照明管及飛機制造業；氬用作電弧焊接不銹鋼、鎂、鋁和其它合金的保護氣體；氬用于鋯、鈦、鉭、鈹、鉿、鈮、鈾、釷等稀有金屬的提煉和焊接技術，液氬用于焊接和冶金等。

在半導體材料和器件生產，尤其是制造大規模集成電路，高純氬氣的應用占有重要地位。氬氣主要作為稀釋氣、運載氣、保護氣、濺射氣和激光混合氣。也用于焊接、不銹鋼制造、冶煉，還用于半導體制造工藝中的化學氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結等。用作標準氣、平衡氣、零點氣等。