高純氬氣的純化裝置簡而言之就是對氬氣進行精制，目前純化裝置主要的是采用非蒸發型皓鋁16為凈化機，在一定程度下，吸氣劑可以用于氬氣中的微量雜質形成穩定的化合物或者固溶物。

高純氬氣的純化裝置可以與區溶單晶爐配套使用可用于激光器、濺射、半導體生產。氣相色譜儀、直讀光譜儀等特殊 稀有金屬等也要用到高純氬氣的生產技術領域，氬氣作為一種含量豐富的惰性氣體在工業生產中顯得日益重要，在形成要求比較嚴格的惰性氛圍中，氬氣比氮氣更合適。

目前氬氣的工業用途和應用比較廣泛，常應用在不銹鋼生產中，也常用在焊接、金屬制造等工業用途上，這表明高純氬氣的純化是非常有必要的。