特種氣體的分離方法一般包括精餾法、　吸附法、催化法及膜分離法等方法，下面主　要介紹分離特種氣體的精餾法、吸附法及膜分離法。

特種氣體是電子工業，特別是大規模集成電路制造不可缺少的材料氣體，該產業的發展應與集成電路產業發展同步或超前。特種氣體的純度朝高純的方向發展是特種氣體產業的一個必然方向，這就要求特種氣體的分離技術不斷進步以滿足純度的要求，以實現氣體的市場價值。在這三種分離技術中，精餾技術的操作比較復雜，目前精餾的汁算還處在半經驗狀態，但分離的氣體產品的純度能滿足市場上各種氣體的純度要求；吸附分離技術還有待于吸附劑的發展；膜分離技術是最新的分離模式，它的發展很快，已經對精餾技術和吸附分離技術造成了不同程度的威脅。總之，這三種方法各有優缺點，適應不同的場合，滿足不同的要求，為特種氣體的分離做出各自的貢獻。