六氟化硫SF6具有卓越的電絕緣性，電絕緣能力是空氣、氮氣的2.5倍左右。六氟化硫具有很好的滅弧性能，其滅弧能力是空氣的100倍左右，而且六氟化硫的化學性質非常穩定，所以六氟化硫被廣泛用作絕緣氣體，如六氟化硫繼電器，六氟化硫高壓斷路器，六氟化硫互導傳感器，六氟化硫避雷針等等。六氟化硫已經成為絕緣油之后的新一代絕緣性好，耐高壓的絕緣介質。

在鎂合金、鎂鋁合金的冶煉過程中，常常用六氟化硫氣體或者六氟化硫和氮氣的混合氣體作為保護氣體，其目的是防止金屬鎂及其合金被空氣氧化。

在TFT-LCD面板廠及其他微電子行業，六氟化硫常用作清潔氣體和蝕刻氣體，在光導纖維的生產過程中，也常用六氟化硫作為單膜光纖隔離層摻雜劑。

在大氣污染監測和水文地質檢測領域，常用六氟化硫作為示蹤劑。因為六氟化硫具有無毒、安全、性質穩定、檢驗方法可靠、空氣和水中中含量少等特性，六氟化硫常被作為氣體示蹤劑使用，六氟化硫的失蹤范圍可以達100km。

在醫療行業，六氟化硫還用于超聲造影，主要是肝臟腫瘤的造影檢查。在超聲造影過程中，六氟化硫主要作為一種安全的造影劑使用，經靜脈注射六氟化硫后，氣體溶解于血液，每12分鐘六氟化硫氣體可以由呼吸方式排出一半。

此外，由于六氟化硫化學性質穩定，分子量大（六氟化硫分子量146.06），其密度是空氣的5.11倍，充入汽車輪胎或者籃球、足球中時，將能保持氣壓長期穩定。