所謂的單頻準分子激光就是脈沖氣體激光，在電流通過時被激活，釋放出某一波長的單色光。氣體是由惰性氣體和鹵素混合而成，激活的惰性氣體和鹵素可形成鹵化物 “Ｅｘｃｉｍｅｒ”一詞來自激態分子的意思，即受激態準分子是一種激態二聚體“Ｅｘｃｉｍｅｒ Ｄｉｍｅｒ”，這兩個單詞組合成 “Ｅｘｃｉｍｅｒ”。
目前應用的單頻準分子激光主要有以下幾種：氬氟（ＡｒＦ）準分子激光其波長１９３ｎｍ；氪氟（ＫｒＦ）準分子激光其波長２４８ｎｍ；氙氯（ＸｅＣｌ）準分子激光其波長３０８ｎｍ； 氙氟（ＸｅＦ）準分子激光其波長３５１ｎｍ等。單頻準分子激光是連續的脈沖氣體激光，釋放的光波長在紫外線范圍內，脈沖寬度為１０～３０ ｎｓ，頻率為０～３５ Ｈｚ，４種單頻準分子激光的波長為氣體特異性的。
目前普遍使用的ArF193以及Xecl308準分子激光已經在醫學領域和光電行業得到了廣泛的應用，氣體按科學的方法分析，從稀有氣體中去除所有有害的雜質。氣體分析證明，這些雜質的存在會影響準分子激光器達到最佳的使用性能。氣體公司在全球銷售這些優質的稀有氣體和平衡氣體，以滿足所有準分子激光器的使用需求。全球最大的準分子激光器氣體制造商已經證明：和任何激光器相關的任何氣體或氣體混合物，都對激光器的性能造成極其重要的影響，這些影響包括:
A 脈動能量
B 輸出功率
C 充填一次氣體的使用壽命
D 穩定性（一個脈動到另一個脈動）
為了確保激光器性能的最優化，氣體的化學家研究團隊認真分析每種氣體化合物，特別監控對激光器性能有害的雜質氣體，以確保產品的質量。這些分析主要針對（但不僅限于）水分、氧氣、碳氫化合物、和其他一切不必要的雜質。
