中國電子特種氣體研究工作始于1983年，當時從事這一工作的單位有北京氧氣廠、浙江大學、大連光明化學所和保定紅星單晶硅廠，研究的內容為超純氣體和烷類氣體。“七五”期間，國家科委委托電子部、化工部牽頭，組織電子氣體攻關招標會，中標的單位南京特種氣體廠(公司)、中科院沈陽金屬研究所、大連光明所、核工業部理化研究院和南京大學。攻關項目主要有烷類氣體、化學氣體刻蝕氣體、高熔點氟化物金屬氣體、MO源（金屬有機化合物）、氣瓶處理技術和配套器件的研制，涉及氣體品種20多種。1991年，國家又在“八五”科技攻關項目—集成電路用關鍵材料研究課題下，又專設了“電子特種氣體研究”的子課題，開始了新一輪的攻關。

文獻資料

中國電子特種氣體發展至今已經經歷了近30年，氣體圈子任路認為，要想全面實現電子特種氣體材料的國產化，光有錢是遠遠不夠的，我們應該力戒浮躁，抓住機遇，強化氣體產業協同發展，大力加強基礎科學研究。2020第五屆國際氣體產業發展高峰論壇9月28日將在上海隆重召開，屆時任路先生將做專題報告《中國電子特種氣體需加強基礎科學研究》，從“洋氣”-“合氣”-“中國氣”三個階段全面總結過去30年中國特種氣體產業發展經驗，為早日實現國產化建言獻策。

“洋氣”

這個時期主要指的是1983年至2010年之間，國內的特種氣體研究工作分階段性進行，前期產業需求從市場化的角度來講，沒有太大的吸引力。特種氣體幾乎全部從國外進口，氣體圈子任路將這個階段稱之為“洋氣”時代。當時中國氣體行業屬于賣方市場，只要你有氣體資源，價格基本都不是問題。這個時期很多代理韓國、日本和歐洲特種氣體的經銷商生意都是日進斗金。隨著以太陽能光伏和LED為代表的戰略性新興產業開始出現，高純氨、鍺烷和一些含氟特種氣體項目在中國落地，一些分子式的電子特種氣體在國內開始自主化生產，這也拉開了國產化大戲的序幕。

“合氣”

這里的“合氣”可不是我們常說混合氣哦，這是一個合作時期。這個時期大約會在2010年-2025年之間。在這期間有幾個關鍵事件也為國產特種氣體導入客戶端創造了千載難逢的條件，比如2011年3月,日本東北部海域發生的里氏9.0級地震和2015年稀有氣體的過山車式漲價、日本作為全球電子材料的主要供應國，全球電子客戶都將面臨供應鏈突發事件的危機，但是客戶公司又不能因此影響正常生產，他們迫不及待的需要尋求新的氣體材料供應商，這個時候中國的的幾家氣體公司經過多年的準備和技術積累，終于迎來了絕佳機會。但是合作模式基本上還是OEM（外資氣體公司找中國當地企業合作或者中國氣體公司找代理商合作），因為OEM的最終產品是氣體，氣體圈子任路把這種合作模式稱之為“合氣”。比如2017年林德集團和綠菱公司的電子級溴化氫合作項目，美國Entegris與湖北晶星的高純度沉積產品包括 TEOS的合作項目。更多詳細內容，9月28日第五屆國際氣體產業發展高峰論壇給你答案。2020年上半年中國大陸液晶面板企業全球市場占有率為38%，位居世界第一，這個領域的特種氣體國產化率還是非常高的，有了電子客戶服務的經驗積累，一些氣體公司已經開始逐漸向集成電路制造企業邁進，包括電子特氣和現場制氣。

“中國氣”

氣體圈子任路認為，這個階段最主要的特點就是基礎研究工作方面突破，包括材料、設備、用戶的氣體生態協同配合。前面兩個階段我們基本上都是非常用心的在copy，當知道某種氣體的分子式之后，我們會把相同的分子式的氣體純度做的比原創公司還要純，從COA到品控過程也基本上可以自主完成，業內稱之為幾個九，如7個9、11個9、20個9……，關鍵是價格還能非常有優勢，這種模式貌似有點像古人常說的“兩耳不聞窗外事,一心只讀圣賢書”，這里的“窗外事”指的是客戶的實際需求。根據氣體圈子俱樂部調研發現，國內已經有一些設備廠商主動找特種氣體供應商合作，也有特種氣體供應商主動找設備廠商的，無論是哪一種，這都是一個很好的開端，如果再把客戶端也加進來，那將真正解決“知己不知彼”的問題。