高純氣體管道氦氣檢漏方法

1、高純大宗氣體管道氦檢漏常用方法采用內向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。

2、內向檢漏法（噴氦法）應采用在高純氣體管道內部抽真空，外部噴氦氣的方法進行檢漏。

3、閥座檢漏法應采用閥門上游充氦氣，下游抽真空的方法檢漏。

4、外向檢漏法（吸槍法）應采用在高純氣體管道內部充氦氣或氦氮混合氣，外部用吸槍檢查可能泄漏點的方法檢漏。

5、氦檢漏儀表應采用質譜型氦檢測儀，其檢測精度不得低于1

6、高純氣體氦檢漏的泄漏率應符合下列要求：

6. 1、內向檢漏法測定的泄漏率不得大于1*10-9mbar. l/s；

6.2、閥座檢漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar. l/s；

6. 3、外向檢漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar. l/s

7、氦檢漏發現的泄漏點經修補后，應重新進行氣密性試驗并合格，然后應按規定再時行氦檢漏。

8、所有可能泄漏的點應用塑料袋隔離。

9、系統測試完畢，應充入高純氮氣或氬氣，并應進行吹掃。

10、測試完畢后，應提交測試報告。

譜源氣體專業氣體生產制造商

相關產品: 特種氣體; 特殊氣體; 高純氣體; 電子氣體; 六氟化硫(SF6); 四氟化碳(CF4); 一氧化氮(NO); 高純二氧化碳(CO2); 氧化亞氮(N2O); 高純甲烷(CH4); 乙烷(C2H6); 高純丙烷(C3H8); 高純丙烯(C3H6); 正丁烷(n-C4H10); 異丁烷(i-C4H10); 滅菌氣體; 環氧乙烷殺菌氣; 環氧乙烷薰蒸氣體。