六氟化硫因其絕緣性及滅弧性良好，六氟化硫氣體多用于如斷路器、高壓變壓器、高壓傳輸線、互感器等。電子級六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，被用于微電子的技術領域。

冷凍工業可用作制冷劑，制冷范圍可在-45℃-0℃之間。電氣工業利用六氟化硫氣體高介電強度和良好的滅電弧性能，用作高壓開關、大容量變壓器、高壓電纜等氣體絕緣材料。

高純六氟化硫還可以用于采礦工業用作反吸附劑，用于礦井煤塵換氧。高純SF6還因其化學惰性、無毒、不燃及無腐蝕性，還被廣泛應用于金屬冶煉、航空航天、醫療、氣象、化工等。