氬氣和氦氣同為空氣中的惰性氣體，正常空氣中的氬氣分氣壓PAr0為946Pa，氦氣分氣壓PHe0為0.533Pa，PAr0是PHe0的1775倍。

在積累氦質譜粗漏細漏組合檢測中，以氬氣為粗漏示蹤氣體，比以氦氣為粗漏示蹤氣體，具有更高的靈敏度。

采用Pernicka 700H CHLD、配以不同的檢測室和Inficon德國公司Rudi Widt先生自制的氬氣標準漏孔，進行的測試表明，在測試的氬氣不合理的經過深冷泵、氬的吸收使積累曲線呈下降狀，因此有一定偏差的情況下，Pernicka 700H CHLD仍能基本準確地測試3.0×10-2Pa·cm3/s和2.0×10-3Pa·cm3/s的氬氣漏率。

粗漏氬氣測量漏率判據（4）

式中，P0為標準大氣壓，P0=1.013×105Pa；MA為以克表示的平均空氣摩爾質量，MA=28.96g。

綜合不同檢測室的穩定氬氣漏率本底和不同樣品的穩定吸附氦漏率，從小內腔容積被檢件開始，可對應粗漏可檢等效標準漏率L0為0.1Pa·cm3/s、0.3Pa·cm3/s和1.0Pa·cm3/s，分別取粗漏氬氣測量漏率判據RAr0max為7.95×10-4Pa·cm3/s、2.39×10-3Pa·cm3/s和7.95×10-3Pa·cm3/s。

這時，粗漏氬氣時間常數（5）

使初次檢測被檢件預充氣體中包含分氣壓為PAr0的氬氣，再次檢測壓氦的同時包含分氣壓為PAr0的氬氣，檢測前始終貯存在正常空氣中，粗漏檢測以氬氣為示蹤氣體，細漏檢測以氦氣為示蹤氣體，則可以充分地將粗漏和細漏分開，細漏檢測的氦氣測量漏率判據Rmax可以大于粗漏判據RAr0max所對應的R0max；可以選取小于等于1.0 Pa·cm3/s的L0；同樣內腔容積被檢件τAr0所對應的τHe0不僅遠大于以氦氣為粗漏細漏示蹤氣體的積累氦質譜組合檢測的τHe0，而且可以大于以氟碳化合物氣泡法進行粗檢漏（L0=1.0Pa·cm3/s）的氦質譜細檢漏的τHe0，可以成數量級或成倍地加大定量確定的最長候檢時間；有更充裕的時間去除被檢件的表面吸附氦，從而允許采用更嚴的細漏測量漏率判據Rmax；為減少粗漏漏檢，若取t4max=0.1τAr0，同樣的儀器可適用更寬的τHemin和V范圍。

基于以上理由，作者申請了發明專利《一種以氬氣為粗漏示蹤氣體的積累氦質譜組合檢測方法》。