下塔頂部的液氮，一路經過冷器進一步冷凝后，通過液氮調節閥HV一l進人上塔頂部作為上塔回流液；另一路經過冷器后，HV一1閥前經液氮液位調節閥LCv-704進人純氬塔冷凝蒸發器作為冷源，被蒸發后，經氮氣出純氮冷凝燕發器壓力調節閥PCv一704返回與上塔抽出的污氮氣匯合一同排出塔外，另作他用；再一路經液氮回流閥V-5返回下塔作為下塔回流液參與下塔精餾；聚集在下塔頂部的氮氣，直接進人純氦塔底部蒸發器，因蒸發液氬中的氮組分而被冷凝成液體，后經液氮出蒸發器調節閥HV-701，與下塔液氮管道匯合作為上塔回流液。
在上塔底部獲得的氧氣經主換熱器回收冷量后，進人氧氣緩沖罐SV一1401 ,供氧壓機壓縮轉人管網使用。冷凝蒸發器底部抽出的液氧，經液氧調節閥LCV-2進入液氧儲槽，作為產品使用。上塔頂部獲得的氮氣經過冷器，主換熱器回收冷量后一路進人氮氣儲槽備用，一路根據需要放空，另一路作為水冷塔補償氣體。上塔上部抽出的污氮氣經過冷器、主換熱器回收冷量后，一路進人水冷塔作為冷源，冷卻水后放空；一路進人分子篩純化器作為加熱氣體；一部分作為空分塔的保護氣體。
匯集在上塔中部的氬餾分氣體，直接進人粗氬塔I下部作為上升蒸氣，與從粗氬塔11底部抽出的，經粗液敘進粗氬塔I液位調節閥LCV一701返回粗氬塔I頂部的粗液氬進行精餾，獲得的粗氬氣經粗氬塔I頂部抽出進人粗氬塔Ⅱ底部，作為粗氬塔Ⅱ上升蒸氣；匯集在粗氬塔I底部的富氧液空，從底部抽出后，一部分放空（啟動初期），一部分返回主塔上塔1/3處，作為上升蒸氣參與精餾；聚集在粗氬Ⅱ底部的粗液氬，一部分經液氬循環泵（甲、乙泵）抽出，通過PCv一701閥返回粗氬塔Ⅱ底部進行小循環；一部分經液氬進粗氬I液位調節閥LCV一701進人粗氬I頂部作為回流液，參與粗氬塔I精餾；聚集在粗氬塔Ⅱ頂部的粗氬氣通過FCV一702閥，進人粗氬塔底部1/3處，作為上升蒸氣參與純氬塔精餾；粗氬Ⅱ冷凝蒸發器內被冷凝的粗液氬返回粗氬Ⅱ頸部作為粗氬Ⅱ回流液；當粗液氬不合格或粗氬Ⅱ回流比過大時，經V一711閥部分放空；在粗氬Ⅱ頸部的粗氬氣，經頸部回流管抽出返回冷凝蒸發器頂部，經冷凝成液氬后，作為粗氬Ⅱ回流液參與精餾；在純氬塔底部的合格液氬經液氬液位調節閥LCV-703進人液氬儲槽待用。如果，純氬塔中粗氬氣不合格需要置換時（設備停運后需要保壓時），應從液氬儲槽抽出被汽化的氬氣，經PCV一2201、V一757、V一756等閥調節與粗氬Ⅱ頂部抽出的粗氬氣管路匯合，進人純氬塔底部1/3處，作為上升蒸氣，參與純氬塔精餾。若純氬塔中液氬不合格時，經V一770閥放空；在純氬塔上部匯集的純氬氣，經回流管抽頭返回純氬塔冷凝蒸發器頂部，被液氮冷凝后從冷凝蒸發器底部引出，作為純氬塔回流液，參與精餾；純缸塔冷凝蒸發器底部匯集的不凝氣體經V-751或V一752、V一753抽出放空。
