液氧、液氮、液氬等低溫液體氣化器廣泛應用于液體氣化站，直接供氣或充瓶。為了保證氣化器安全運行，應設置安全控制點，并注意下述事項：
1)設置低溫液體出氣化器的低溫控制聯鎖點。將氣體出口溫度控制在5～30℃。當出口
溫度低于0℃時，自動切斷液體泵，中止液體進入氣化器。不帶液體泵的氣化器則發出聲光報警；
2)設置氣化器水溫控制聯鎖點。控制水溫在40～60℃。當水溫低于30℃時自動切斷液體泵，中止液體進入氣化器；
3)設置氣化氣體出口壓力控制聯鎖點，將壓力控制在設定值。當出口氣體壓力高于設定值時，會發出聲光報警；壓力繼續升高則會自動切斷液體泵，中止液體進入氣化器；
4)在液體泵兩頭設有截止閥的部位應裝設安全閥和放空閥，以保證誤操作時的安全；
5)氣化器配套的壓力表、安全閥應定期校驗；
6)用水浴加熱的氣化器使用前必須先將水槽的水充滿，并加熱到40～60℃后才能供入液體。在停氣化器之前，則應先切斷輸液閥，熱后再切斷加熱電源。氣化過程中應經常注意水位，及時補充水量；
7)工作過程中由于流量的改變，會影響氣化后的溫度，所以要及時調整水溫；
8)若發生水溫降至30℃以下，應檢查電熱管是否損壞。必要時應減少輸出流量，確保氣化后的溫度。氣化器至充裝的管道發現結冰或結霜時應停止充裝。