制氧機爆炸的部位在某種程度上與空分設備的型式有關。在高、中壓、雙壓流程中，發生爆炸的可能性相對較多；生產液氧的裝置，主冷未發生過爆炸，而氣氧裝置的主冷卻是爆炸的中心部位。爆炸破壞的程度與爆炸力有關，微弱的爆炸可能只破壞個別的管子，甚至未被操作人員所察覺。
冷凝蒸發器的爆炸部位，隨其結構型式不同而有所不同。一般易發生在液氧面分界處，以及個別液氧流動不暢的通道，也有發生在下部管板處或上頂蓋處。對輔助冷凝蒸發器，爆炸易發生在液氧接近蒸發完畢的下部。
據統計，除冷凝蒸發器外，在其他部位也發生過爆炸。計有：下塔液空進口下部；液空吸附器；上塔液空進口處的塔板；液氧排放管；液氧泵；切換式換熱器冷端的氧通道；輔助冷凝蒸發器后的乙炔分離器等。
不論在哪個部位爆炸，其原因均有液氧(或富氧液空)的存在，并在蒸發過程中造成危險物的濃縮、積聚或沉淀，組成了爆炸性混合物，在一定條件下促使發生爆炸。