據了解，從2012年起，平板顯示器和硅基薄膜光伏制造廠將可以用上這種新型的氟氣清洗解決方案，該方案不僅能為客戶帶來顯著的經濟效益，同時也有益于環境保護。另外，因其可通過大型現場制氣裝置直接生產，還可幫助客戶提高生產力。該解決方案推出后，此前該行業廣泛應用的清洗氣三氟化氮將被替代。