近日，林德宣布為積塔半導體建造的一臺制氮機在上海開機成功，林德與積塔半導體簽訂了一份為期20年的超高純工業用氣供應合約，目前開機運行的為計劃建造的兩臺高純制氮機中的第一臺，第二臺預計將于2022年上線啟用。

據悉，該臺制氮機位于上海臨港產業區，其安裝和運行工作由林德旗下合資企業聯華林德（Linde LienHwa）負責。該制氮機將為積塔半導體造價特氣網高達51億美元的晶圓制造廠供應各種超高純度氣體（如氮氣、氧氣、氬氣、二氧化碳）以及壓縮干空氣（CDA）。

文章來源：氣體分離