10月31日，林德宣布已啟動新的Spectra高純制氮裝置，以支持一家領先的半導體制造商在上海張江高科技園區的擴張。

    林德的氮氣將用于整個新的半導體制造廠，支持直接生產工藝應用和各種半導體制造系統的常規吹掃和惰性化。新工廠由林德的合資公司聯華林德(LLH)安裝和運營，還將通過管道向工業園區中的現有客戶供應氮氣。

    聯華林德中國區總裁Stan Tang說：“我們已經與客戶緊密合作，以擴展其先進晶圓加工設備所需的高純度氣體的基礎設施。通過這項新的投資，我們很高興能夠安全可靠地支持客戶的增長，同時還升級了基礎架構以滿足電子市場不斷增長的需求。”

關于林德Spectra品牌 

    SPECTRA產品范圍包括氣體混合物，以支持用于眼科手術和半導體制造的高精度激光應用，氙氣推動衛星穿越太空，以及最奇特的VOC校準氣體混合物，用于高度敏感的環境測量和污染控制。

文章來源：氣品網