10月<span>31日，林德宣布已啟動(dòng)新的Spectra高純制氮裝置，以支持一家領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造商在上海張江高科技園區(qū)的擴(kuò)張。

 林德的氮?dú)鈱⒂糜谡麄€(gè)新的半導(dǎo)體制造廠，支持直接生產(chǎn)工藝應(yīng)用和各種半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的常規(guī)吹掃和惰性化。新工廠由林德的合資公司聯(lián)華林德(LLH)安裝和運(yùn)營(yíng)，還將通過(guò)管道向工業(yè)園區(qū)中的現(xiàn)有客戶供應(yīng)氮?dú)狻?

 聯(lián)華林德中國(guó)區(qū)總裁Stan Tang說(shuō)：我們已經(jīng)與客戶緊密合作，以擴(kuò)展其先進(jìn)晶圓加工設(shè)備所需的高純度氣體的基礎(chǔ)設(shè)施。通過(guò)這項(xiàng)新的投資，我們很高興能夠安全可靠地支持客戶的增長(zhǎng)，同時(shí)還升級(jí)了基礎(chǔ)架構(gòu)以滿足電子市場(chǎng)不斷增長(zhǎng)的需求。

關(guān)于林德Spectra品牌

SPECTRA產(chǎn)品范圍包括氣體混合物，以支持用于眼科手術(shù)和半導(dǎo)體制造的高精度激光應(yīng)用，氙氣推動(dòng)衛(wèi)星穿越太空，以及最奇特的<span>VOC校準(zhǔn)氣體混合物，用于高度敏感的環(huán)境測(cè)量和污染控制。

文章來(lái)源：氣體分離