氣體分離8月2日從聯(lián)優(yōu)UniEco獲悉,其將為中船重工集團718所特氣項目8000液氮制備裝置提供一套高低溫增壓膨脹機。該項目預計在2020年8月之前投入運行。
據(jù)悉,中船重工718研究所特種氣體二期工程項目于2018年5月開工建設,項目總投資12億元,占地250畝,總建筑面積15.9萬平方米,主要建設高純電子特種氣體生產(chǎn)車間、研發(fā)中心及輔助設施等。建成后,特種氣體產(chǎn)量達7400噸/年,氮氣產(chǎn)量達80000噸/年。
高純電子特種氣體被形容為半導體工業(yè)的“血液”和“糧食”,是大規(guī)模集成電路、多晶硅、太陽能、光纖等先進制造業(yè)的重要原材料,屬于國家加快扶持發(fā)展的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。然而早些年,相關產(chǎn)品被國外壟斷,市場定價權(quán)掌握在國外廠商手中。為打破壟斷、搶占市場機遇。
718所于2000年組建特種氣體工程部,自籌經(jīng)費立項開展研究,于2009年成功開發(fā)出高純?nèi)摦a(chǎn)品被列入國家“重點新產(chǎn)品”及“火炬計劃”,應用于國內(nèi)大部分的半導體、液晶、太陽能行業(yè),并出口美國、日本、法國、德國等國家。
718所擁有50多年從事氣體相關產(chǎn)業(yè)的研發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)驗,目前該所已建成國內(nèi)最大的三氟化氮、六氟化鎢及三氟甲磺酸系列產(chǎn)品研發(fā)生產(chǎn)基地。其中三氟化氮國內(nèi)市場覆蓋率超過95%,國際市場覆蓋率達30%;六氟化鎢國內(nèi)市場覆蓋率達100%,國際市場覆蓋率達40%。作為國家“02專項”氣體組項目的牽頭單位,該所已經(jīng)成功研制出四氟化硅等9種高純氣體及10種混合氣體,并成功進行了產(chǎn)業(yè)化,產(chǎn)品得到了中芯國際等半導體龍頭企業(yè)的測試認證。
近兩年,718所特種氣體產(chǎn)業(yè)迅速壯大,年均增速達到30%。該所力爭到2020年,實現(xiàn)年產(chǎn)高純?nèi)獨怏w12000噸、高純六氟化鎢氣體2000噸、其他特種氣體3000噸,成為世界知名的電子特種氣體材料綜合服務商。