質量流量控制器由流量傳感器，分流器通道，流量調節閥和放大控制電路等部件組成，質量流量計由流量傳感器，分離器通道和放大控制電路等部件組成。氣體流過質量流量控制器（質量流量計）時，一部分氣體通過流量傳感器。流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)，將檢測的流量信號送入電橋，電橋將流量信號轉變成電信號，電信號經放大器放大為0～5V，放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與之配套的MT系列流量顯示儀上設置有穩壓電源, 3 位半數字電壓表, 設定電位器, 外設、內設轉換和三位閥控開關等。MFC與流量顯示儀連接后的工作原理如圖3 所示:
