表2中所列要求是按美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209提出來的。 

 

3．《美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209》

 

    1963年10月美國(guó)政府批準(zhǔn)實(shí)施了適用于潔凈室、潔凈工作站的《聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209》，隨后，經(jīng)過5次修訂，到1988年7月頒布了《美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209D》。
    可見，為適應(yīng)電子技術(shù)迅速發(fā)民的要求需要不斷高速和修訂有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。我國(guó)目前的規(guī)范內(nèi)容基本上相當(dāng)于《美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209A》（1966年8月）的水平。

 

4．《美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209D》
    在該標(biāo)準(zhǔn)中，懸浮粒子潔凈度級(jí)別按表3和圖2確定。
    該標(biāo)準(zhǔn)與《美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209》相比，圈套的不同有以下幾點(diǎn)。

 

（1）增加了 1級(jí)和10級(jí)潔凈等級(jí)；
（2）在1級(jí)和10級(jí)內(nèi)分別列有0.1、0.2、0.3和0.5µm擋次，同時(shí)，在多用的100級(jí)內(nèi)，同0.5µm粒子一樣，也列入了0.2、0.3µm兩個(gè)擋次。
（3）可準(zhǔn)確地確定其它級(jí)別，如50級(jí)等；

 

 

注：NA表示不采用
             



（4）增加了兩個(gè)表（表3、4）   
    根據(jù)這樣的標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)照表3，不難看出，對(duì)于0.2—1級(jí)，即粒徑≥0.2µm的粒子，在每立方英尺中不得超過7.5個(gè)；對(duì)于0.5—1級(jí)，即粒徑≥0.5µm的粒子,在每立方英尺中不得超過1個(gè).
    在《美車聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209D》中，除表3之外，還對(duì)粒子測(cè)定時(shí)的取樣氣體數(shù)作了規(guī)定，見表4。




表4 測(cè)定粒子尺寸和確定空氣潔凈等級(jí)時(shí)每次最小取樣容積（立方英尺）

 

    在同一環(huán)境況關(guān)下，取親容積不同時(shí)，所含水量粒子數(shù)也不同，因此，對(duì)取樣的最小容積作了限制性規(guī)定。
    由于粒子計(jì)數(shù)器是在大氣壓下工作的，所以，在我們的代表氣技術(shù)中，對(duì)粒子的測(cè)定取樣，也要降到大氣壓下來進(jìn)行測(cè)定。
    目前，各國(guó)在提供高純氣體時(shí)，對(duì)于粒子的含量，基本上按《美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209D》要求進(jìn)行，我國(guó)也是如此。我國(guó)現(xiàn)在的技術(shù)措施和規(guī)范尚不能滿足使用要求，我們希望有關(guān)部門對(duì)原有措施、規(guī)范盡快修訂，對(duì)高純氣體的應(yīng)用技術(shù)也應(yīng)建立相應(yīng)的技術(shù)措施、規(guī)定和標(biāo)準(zhǔn)。