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中科院微電子所KW型勻膠機(jī)（www.rf-power.net）適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動迅速等優(yōu)點(diǎn)，并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無油真空泵一起使用。經(jīng)過20多年的發(fā)展，目前產(chǎn)品占國內(nèi)市場的70%以上。 目前的型號有KW-4A型和KW-5型。
產(chǎn)品主要特點(diǎn)：
　　1、開關(guān)電流調(diào)速，穩(wěn)定性能更好，轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準(zhǔn)。
　　2、轉(zhuǎn)速在500～8000轉(zhuǎn)／分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。　　
　　3、采用雙轉(zhuǎn)速。在啟動之后，先以低速運(yùn)轉(zhuǎn)，使膠攤開，然后自動轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時間分別可調(diào)，時間分別控制在1～18秒和3秒～1分鐘。
　　4、具有定時功能。
　　5、測速采用光電的辦法，產(chǎn)生光電脈沖，由晶體分頻測速準(zhǔn)確性高。
　　6、"吸片"采用電磁閥控制氣路，一個氣泵可同時帶幾臺勻膠機(jī)工作，適合流水線的工藝，提高了效率。　　
　　7、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減振措施，保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時噪音低。