psa變壓吸附制氮裝置/變壓吸附制氮裝置一般PSA純度：95～99.9995%；：1～3000Nm3/h。深冷制氧空分純度可達到99.6%（特出情況除外）流量可達到3000立方。深冷制氮裝置流量可到到6000以上。碳分子篩的孔徑分布特性使其能夠實現O2、N2的動力學分離。這樣的孔徑分布可使不同的氣體以不同的速率擴散至分子篩的微孔之中，而不會排斥混合氣（空氣）中的任何一種氣體。碳分子篩對O2、N2的分離作用是基于這兩種氣體的動力學直徑的微小差別，制氮機分子的動力學直徑較小，因而在碳分子篩的微孔中有較快的擴散速率，，氮氣分子的動力學直徑較大，因而擴散速率較慢。制氮機壓縮空氣中的水和二氧化碳的擴散同氧相差不大，而氬擴散較慢。最終制氮機從吸附塔富集出來的是N2和Ar的混合氣。