重慶凱益特種氣體有限公司的電子新材料(特種氣體材料)產業基地項目環評文件于5月15日獲受理,項目位于重慶市潼南區田家鎮環保科技園T8-10/04地塊,總投資3.75億元,其中環保投資425萬元。
項目將建設電子級磷烷、電子級鍺烷、電子級四氟化硅、磷烷混配氣、鍺烷混配氣生產線。電子級磷烷裝置分兩階段實施,每階段產能50噸;其他產品一次性建設,建成后年產能分別為電子級鍺烷5噸、電子級四氟化硅100噸、磷烷混配氣63萬立方米、鍺烷混配氣8000立方米。此外,還將配套建設公輔工程和環保工程。
重慶凱益特種氣體有限公司成立于2015年10月,是西南地區專業研發、生產特種氣體的高新技術企業,主營鍺烷、六氟乙烷、三氟甲烷等電子特氣產品,廣泛應用于半導體制造關鍵工藝。隨著西南地區電子產業快速發展,凱益公司計劃在潼南高新區新建此特種氣體材料產業基地項目以滿足市場需求。