隨著半導(dǎo)體制程的日益精密和高效率要求，超高純度工業(yè)氣體的需求不斷攀升。2025年5月6日，亞東工業(yè)氣體在華亞科技園區(qū)舉行了新廠奠基儀式。新廠將專注于生產(chǎn)超高純度的氮?dú)?、氧氣和氬氣，為半?dǎo)體制程的穩(wěn)定運(yùn)行提供關(guān)鍵支持。

亞東工業(yè)氣體在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)深耕多年，其華亞基地自2012年起就持續(xù)供應(yīng)高品質(zhì)的電子級氮?dú)夂脱鯕?。為了?yīng)對人工智能浪潮帶來的制程升級和氣體用量增長，亞東工業(yè)氣體選擇在華亞科技園區(qū)原址擴(kuò)建新廠。這是繼2024年完成司馬庫斯廠和觀音二氧化碳回收設(shè)備之后，亞東工業(yè)氣體啟動的又一重大產(chǎn)能擴(kuò)張項(xiàng)目。

新廠將采用最新的模塊化設(shè)備，不僅能大幅縮短建設(shè)時(shí)間，提高建廠效率，還具備高度的運(yùn)營靈活性，能夠同時(shí)生產(chǎn)電子級氮?dú)?、氧氣、氬氣和液態(tài)氮。預(yù)計(jì)新廠啟用后，華亞基地的電子級氮?dú)夤?yīng)能力將大幅提升，整體制程效率也將提高約5%，從而有效增強(qiáng)客戶的生產(chǎn)穩(wěn)定性和競爭力。生產(chǎn)電子級氣體的難度遠(yuǎn)高于普通工業(yè)氣體，需要經(jīng)過層層精密凈化和監(jiān)控，以達(dá)到十億分之一（ppb）級別的純度。這對氣體廠商的制程技術(shù)、設(shè)備管理和質(zhì)量控制都提出了極高的要求。

亞東工業(yè)氣體（Air Liquide Far Eastern；ALFE）是由全球工業(yè)氣體制造和服務(wù)的領(lǐng)導(dǎo)者、擁有百年歷史的法國液空集團(tuán)（Air Liquide）與遠(yuǎn)東新世紀(jì)集團(tuán)（Far Eastern）于1987年在臺灣省合資成立的，是臺灣地區(qū)投資規(guī)模最大的法資制造商。長期以來，亞東工業(yè)氣體以高品質(zhì)的工業(yè)氣體、特殊氣體和先進(jìn)材料，支持著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。