2025年3月7日，據國家知識產權局消息，博純材料股份有限公司成功獲得一項名為“一種乙硼烷生產合成裝置及合成工藝”的專利，授權公告號為CN119034665B，該專利于2024年11月提交申請。
該專利涉及半導體技術領域，公開了一種創新的乙硼烷生產合成裝置及其工藝。該裝置的核心部件為反應罐體，其罐底設有第一轉動板，與底壁圍成第一集氣腔室，與側壁圍成反應腔室。第一轉動板靠近反應腔室一側設有豎向的第一導氣管，導氣管與第一集氣腔室相連通，且其外周設有多個透氣孔，用于三氯化硼氣體的穿設。
此外，反應罐體外周配備了驅動組件，能夠驅動第一轉動板和第一導氣管繞反應罐體中心軸線公轉。這一設計使得三氯化硼氣體能夠與硼氫化鈉更充分地接觸，從而顯著提高乙硼烷的生產效率。
該專利的取得標志著博純材料在半導體氣體生產技術領域取得了重要突破，為乙硼烷的高效合成提供了新的技術路徑。
