和遠氣體1月15日晚間發布公告稱,湖北和遠氣體股份有限公司關于公司取得發明專利證書的公告。專利名稱為“一種半導體用超高純氯化氫氣體的制備裝置及其工藝”。
本發明專利“一種半導體用超高純氯化氫氣體的制備裝置及其工藝”是一種以工業產品氣體為原料,采用高分子滲透膜、金屬陽離子交換樹脂、稀土金屬化合物脫水與高壓精餾的結合,可將組分中 CO2 雜質脫除至 0.1ppm 以下、金屬離子含量脫除至 10ppt 以下;所述制備工藝擺脫了現有技術對原料的依賴,在生產超高純氯化氫氣體的同時產生多種品質的氯化氫氣體,尾氣減少的同時易于處理,適用于工業化推廣。