和遠(yuǎn)氣體1月15日晚間發(fā)布公告稱，湖北和遠(yuǎn)氣體股份有限公司關(guān)于公司取得發(fā)明專利證書(shū)的公告。專利名稱為“一種半導(dǎo)體用超高純氯化氫氣體的制備裝置及其工藝”。

本發(fā)明專利“一種半導(dǎo)體用超高純氯化氫氣體的制備裝置及其工藝”是一種以工業(yè)產(chǎn)品氣體為原料，采用高分子滲透膜、金屬陽(yáng)離子交換樹(shù)脂、稀土金屬化合物脫水與高壓精餾的結(jié)合，可將組分中 CO2 雜質(zhì)脫除至 0.1ppm 以下、金屬離子含量脫除至 10ppt 以下；所述制備工藝擺脫了現(xiàn)有技術(shù)對(duì)原料的依賴，在生產(chǎn)超高純氯化氫氣體的同時(shí)產(chǎn)生多種品質(zhì)的氯化氫氣體，尾氣減少的同時(shí)易于處理，適用于工業(yè)化推廣。