國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，和立氣體（上海）有限公司取得一項名為“一種生產(chǎn)三氯化硼氣體的精餾塔”的專利，授權(quán)公告號CN 222110963 U，申請日期為2024年4月。

專利摘要顯示，本實用新型的一種生產(chǎn)三氯化硼氣體的精餾塔，包括精餾塔主體，精餾塔主體的頂部和底部分別設(shè)置有排氣管和出料管，出料管的表面設(shè)置有第二電磁閥，排氣管的中間為U形管，U形管的底部中心設(shè)置有延長管，延長管的內(nèi)部設(shè)置有擋板，延長管的內(nèi)部且位于擋板的底部設(shè)置有加熱管，排氣管的表面頂部設(shè)置有第三電磁閥，排氣管的表面且位于第三電磁閥的后方設(shè)置有單向閥，排氣管的內(nèi)部且位于第三電磁閥的后方設(shè)置有防回流裝置，精餾塔主體的表面設(shè)置有進料管，進料管的表面設(shè)置有第一電磁閥；本實用新型通過在排氣管處設(shè)置有單向閥，進而防止氣體的回流并且重新進入到精餾塔中，使蒸餾提純的氣體的純度降低，進而降低精餾的效率。