7月11日,全省科技創(chuàng)新大會(huì)在省人民大會(huì)堂舉行,頒發(fā)了306項(xiàng)2021年度浙江省科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)。獲得浙江省科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)2家、二等獎(jiǎng)3家、三等獎(jiǎng)1家,浙江省技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)1家。
其中,杭州福斯達(dá)深冷裝備股份有限公司的《基于雙塔雙冷凝深冷技術(shù)的芯片專用超高純制氮成套裝置》獲得浙江省科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)三等獎(jiǎng)。
其中,杭州福斯達(dá)深冷裝備股份有限公司的《基于雙塔雙冷凝深冷技術(shù)的芯片專用超高純制氮成套裝置》獲得浙江省科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)三等獎(jiǎng)。