大型內壓縮流程的空分設備，在20世紀80年代初組要由于大型合成氨工程的上馬，由德國Linde公司引入我國。到了90年代隨著我國大型冶金、石化企業的發展，相繼引進了一批大型內壓縮空分設備。2001年后內壓縮的工藝流程形式已經取得了飛速的發展，空氣凈化采用分子篩吸附，制氧采用了全精餾無氫制氬流程。同時這種新的流程形式也得到了國內冶金、石化企業的關注，正是由于內壓縮流程的一些新的特點，如用增壓空氣壓縮機+液氧泵+中亞換熱器取代了較為復雜的氧透，在客觀上為制氧行業提供了一個新的流程選擇形式。